| 发明名称 |
BIS(ALKYLIMIDO)-BIS(ALKYLAMIDO)TUNGSTEN MOLECULES FOR DEPOSITION OF TUNGSTEN-CONTAINING FILMS |
| 摘要 |
<p>본 발명에서는 비스(알킬이미도)-비스(알킬아미도)텅스텐 화합물, 이의 합성 및 텅스텐-함유 필름의 침착을 위한 이의 용도가 개시된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150126708(A) |
申请公布日期 |
2015.11.12 |
| 申请号 |
KR20157029462 |
申请日期 |
2013.03.15 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
GATINEAU JULIEN;KO CHANGHEE;YOKOTA JIRO;LANSALOT MATRAS CLEMENT |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/18;C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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