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<p>Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungseinrichtung (10) für ein Mikroskop bzw. für ein optisches 3D-Oberflächenmessgerät (100), insbesondere nach dem Prinzip der Fokusvariation. Die Beleuchtungseinrichtung umfasst flächig angeordnete Lichtquellen (20) in Form von LED's sowie eine Beleuchtungsoptik (30, 40) zur Abbildung des Beleuchtungsspektrums auf ein zu untersuchendes Objekt (200). Die Beleuchtungsoptik umfasst eine Anordnung von mehreren Sammellinsen (30) sowie zumindest eine Fresnellinse (40), wobei die von den LED's (21) emittierten Lichtstrahlen zuerst auf die Sammellinsen (30) treffen und dann parallelgerichtet auf die Fresnellinse (40) treffen. Die Fresnellinse (40) ist in reflektierender Anordnung so orientiert, dass Linsenspitzen (42) einer Prismenstruktur (41) an einer von den Sammellinsen (30) abgewandten Lichtaustrittsseite (44) der Fresnellinse (40) angeordnet sind. Die Sammellinsen (30) sind von Kreisringsegmenten (35) gebildet, wobei benachbarte Kreisringsegmente (35) zumindest an einer Segmentseitenfläche (38) flächig aneinandergrenzen.</p> |
