| 摘要 |
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann Vakuumprozessieranlage (100) aufweisen: ein Kammergehäuse (102) mit einer Öffnung (111) in der Oberseite des Kammergehäuses (102) zum Aufnehmen eines Kammerdeckels (104), einen Kammerdeckel (104) zum Abdecken der Öffnung (111) des Kammergehäuses (102); eine erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) an dem Kammergehäuse (102), eine zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) an dem Kammerdeckel (104), wobei die erste Vorvakuumversorgungsstruktur (108a) und die zweite Vorvakuumversorgungsstruktur (108b) derart eingerichtet sind, dass diese beim Schließen des Kammerdeckels (104) selbsttätig vakuumdicht miteinander gekuppelt werden. |
