一种化学气相沉积炉以及一种化学气相沉积系统

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积炉，包括：用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给装置；设置于所述原料供给装置上方的两个及以上的沉积装置；设置于所述沉积装置上方的收料装置，所述收料装置包括一个收料盒、设置于所述收料盒顶部的收料盒盖以及开设于所述收料盒盖处的出气筒，所述收料盒为一个内部贯通的腔室，所述出气筒的下端与所述收料盒的腔室连通。本发明中未反应完的气体以及未来的及沉积的化合物颗粒直接进入到收料盒内，尽可能的进入到与化学气相沉积炉相连的粉尘收集系统，降低了整个化学气相沉积炉的承重，同时减少反应生成的粉尘停留到沉积装置的量，降低系统堵塞的几率，相应的增加产品的厚度，提高了产品的转化率。

主权项

一种化学气相沉积炉，其特征在于，包括：用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给装置(1)；设置于所述原料供给装置上方的两个及以上的沉积装置(2)；设置于所述沉积装置上方的收料装置，所述收料装置包括一个收料盒(3)、设置于所述收料盒(3)顶部的收料盒盖(12)以及开设于所述收料盒盖(12)处的出气筒(5)，所述收料盒(3)为一个内部贯通的腔室，所述出气筒(5)的下端与所述收料盒(3)的腔室连通。