一种半导体生产线动态调度装置

摘要

本发明涉及一种半导体生产线动态调度装置，包括：用于生成数据样本的样本生成模块；用于根据所述数据样本建立调度模型的调度模型离线学模块；用于根据用户调度目标和所述调度模型生成实时调度策略进行半导体生产线在线调度的生产线在线调度模块，根据用户的调度要求从调度模型库中选择相适应的调度模型，并输入半导体生产线的系统状态信息，应用调度模型从候选的调度策略中选择最优或近似最优的调度策略应用于生产线运行。与现有技术相比，本发明具有满足调度实时性和优化，同时也能满足调度的有效性，有利于提高生产线整体性能的优势。

主权项

一种半导体生产线动态调度装置，其特征在于，包括：用于生成数据样本的样本生成模块；用于根据所述数据样本建立调度模型的调度模型离线学习模块；用于根据用户调度目标和所述调度模型生成实时调度策略进行半导体生产线在线调度的生产线在线调度模块。