| 发明名称 | 光刻胶的去除方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了光刻胶的去除方法，包括以下步骤：（1）使用湿法刻蚀去除光刻胶；（2）使用酸溶液洗涤光纤面板的光刻胶残留；（3）加热碱溶液，使用碱溶液洗涤；（4）将使用碱溶液洗涤完的光纤面板放入水中，持续通入臭氧；（5）加入氯水；（6）使用有机溶剂浸泡。本发明能够分别去除光刻胶表层和底层部分，彻底去除光纤面板上的光刻胶。 | ||
| 申请公布号 | CN105045051A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510521796.X | 申请日期 | 2015.08.24 |
| 申请人 | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 | 发明人 | 陈哲;张睿;王者馥;王绪敏;殷金龙;任鲁风 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种光刻胶的去除方法，其特征在于，包括以下步骤：使用湿法刻蚀去除光刻胶；使用酸溶液洗涤光纤面板的光刻胶残留；加热碱溶液，使用碱溶液洗涤；将使用碱溶液洗涤完的光纤面板放入水中，持续通入臭氧；放入氯水中洗涤；使用有机溶剂浸泡。 | ||
| 地址 | 101111 北京市大兴区经济技术开发区科创六街88号亦庄生物医药园3号楼608 | ||