一种保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪

摘要

本发明公开了一种保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪，包括电离室、质谱发生室和真空封堵接口组件，真空封堵接口组件为两端开口的管道结构；三者之间密封串接构成供离子穿过的通道；真空封堵接口组件的管道结构内设置隔板，隔板的中部开有贯通的封堵口；真空封堵接口组件还包括封堵板和驱动组件，驱动组件驱动封堵板移动至封堵口处，封堵板在负压下封堵封堵口。本发明公开的质谱仪在尽量减小质谱发生室内真空状态破坏程度的情况下，实现了离子源的拆装；而且，离子源更换后，只需要抽取离子源所在区域的真空，该区域体积较小，抽真空的时间明显缩短，提高了生产效率。

主权项

一种保持质谱内部真空条件下更换离子源的质谱仪，其特征在于，包括电离室、质谱发生室和真空封堵接口组件，所述真空封堵接口组件为两端开口的管道结构；电离室的离子出口通道、真空封堵接口组件和质谱发生室的离子进入通道之间密封串接；所述真空封堵接口组件的管道内设置隔板，隔板的中部开有贯通的封堵口；所述真空封堵接口组件还包括封堵板和驱动组件，所述驱动组件驱动所述封堵板移动至所述封堵口处，所述封堵板在负压下封堵所述封堵口。