发明名称 有机保焊之互连上之铜及加强之打线接合制程
摘要
申请公布号 TWI508248 申请公布日期 2015.11.11
申请号 TW098120913 申请日期 2009.06.22
申请人 联合科技(股份有限)公司 发明人 许荣泉;歇 吉米;萨拉玛 杰佛瑞 南提斯;派比托 罗普 维伦史宾 二世;卡德隆 罗纳度 凯塔诺;玛奈拉 罗德尔;王邦合;黄健庭
分类号 H01L23/49;H01L21/44 主分类号 H01L23/49
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种形成一装置之方法,其包含:提供该装置之第一及第二接触区域,其中该第一接触区域包含用一有机保焊材料涂布之铜;在该第一接触区域上形成一球形焊块,其中形成该球形焊块包含:透过一接合工具之一毛细管穿过一打线,其中该打线之一尖端被设置为超过该毛细管之一尖端;将该毛细管布置于具有一形成气体之一形成室内;及在该室内形成一火花以在该打线之该尖端上形成该球形焊块;平滑化该球形焊块以在该球形焊块上形成无一尾部之一平坦顶部表面,其中平滑化该球形焊块包含:将该毛细管与该球形焊块一起定位于该第一接触区域上;处理以形成该球形焊块,其穿透该有机保焊材料并且充分接合至该第一接触区域;在一第一方向上转移该毛细管以远离该球形焊块;及在一第二方向上向后转移该毛细管横跨该球形焊块以形成该球形焊块之该平坦顶部表面,该平坦顶部表面无一尾部(devoid of a tail),其中该等转移系沿着与该平坦顶部表面相同之角度;将该打线之一第一端接合至该第二接触区域;以及将该打线之一第二端接合至该球形焊块之该平坦顶部 表面。
地址 新加坡