一种亚波长反射式一维金属波片

摘要

本实用新型提供一种亚波长反射式一维金属波片，能够在不同度的波段实现二分之一和四分之一波片的功能，所述波片包括介质光栅和设置在其上的金属层；纳米介质光栅结构设置上一层类光栅金属层，介质光栅的周期为80～350nm, 占空比为0.3～0.8，厚度为50～200nm，金属层的厚度比介质光栅厚度30nm以上（层间距大于30nm）。本实用新型具有结构简单，易于制作等优点，在以后的光学传感系统、先进的纳米光子器件以及集成光学系统中，具有很大的应用价值。

主权项

一种亚波长反射式一维金属波片，其特征在于：所述波片包括纳米介质光栅及位于所述纳米介质光栅上的金属层；所述金属层与所述纳米介质光栅之间无间隙；所述金属层上表面具有类光栅结构；所述纳米介质光栅的周期为80～350nm，占空比为0.3～0.8，厚度为50～200nm。