| 发明名称 | 带有集成背空腔的MEMS声传感器 | ||
| 摘要 | 在此披露了一种MEMS器件。该MEMS器件包括：一个带有一个第一表面和一个第二表面的第一极板；以及一个附接到一个第一衬底上的锚点。该MEMS器件进一步包括一个带有一个第三表面和一个第四表面的附接到该第一极板上的第二极板。一个连接机构将该锚点连接到该第一极板上，其中，在该第一极板的该第一和第二表面之间存在一个声压差的情况下，该第一极板和第二极板移位。该第一极板、第二极板、连接机构和锚点全都包含在由该第一衬底和一个第二衬底形成的一个围隔内，其中，该第一和第二衬底其中之一包含一个通口以使该第一极板的该第一表面暴露在环境下。 | ||
| 申请公布号 | CN105051909A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201480011805.4 | 申请日期 | 2014.02.28 |
| 申请人 | 因文森斯公司 | 发明人 | 艾尔翰·波拉特卡恩·阿塔;马丁·利姆;李想;斯蒂芬·劳埃德;迈克尔·朱利安·达内曼 |
| 分类号 | H01L29/96(2006.01)I;H01L29/84(2006.01)I;H01L29/86(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/96(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人 | 白云;郑霞 |
| 主权项 | 一种MEMS器件，包括：一个附接到一个第一衬底上的锚点；一个带有一个第一表面和一个第二表面的第一极板；一个带有一个第三表面和一个第四表面的附接到该第一极板上的第二极板；以及一个将该锚点连接到该第一极板上的连接结构，其中，在该第一极板的该第一和第二表面之间存在一个声压差的情况下，该第一极板和第二极板移位；其中，该第一极板、该第二极板、该连接机构和该锚点包含在由该第一衬底和一个第二衬底形成的一个围隔内；其中，该第一和第二衬底其中之一包含一个声端口以将该第一表面暴露在环境下；其中，在该第一衬底上形成至少一个电极。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||