| 发明名称 | 蒸镀材料清除装置及蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种蒸镀材料清除装置及蒸镀装置。其中，该蒸镀材料清除装置包括：设置在蒸发源上方的挡板；控制所述挡板相对所述蒸发源进行水平方向移动和竖直方向移动的移位部件；设置在所述挡板上的电机部件；以及与所述电机部件连接并被所述电机驱动的清除部件，所述清除部件能够在蒸发源的出口阻塞有蒸镀材料时对所述蒸镀材料进行清理。通过本发明，达到了能够及时清除阻塞在蒸发源出口的有机材料，从而提高了晶振片上感知的薄膜厚度和基板上实际蒸镀的薄膜厚度的一致性的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN105039913A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510552509.1 | 申请日期 | 2015.09.01 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 张鹏 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;黄灿 |
| 主权项 | 一种蒸镀材料清除装置，其特征在于，包括：设置在蒸发源上方的挡板；控制所述挡板相对所述蒸发源进行水平方向移动和竖直方向移动的移位部件；设置在所述挡板上的电机部件；以及与所述电机部件连接并被所述电机驱动的清除部件，所述清除部件能够在蒸发源的出口阻塞有蒸镀材料时对所述蒸镀材料进行清理。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||