| 发明名称 | 成膜掩模的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属框架7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分切除；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。 | ||
| 申请公布号 | CN105051243A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201480014059.4 | 申请日期 | 2014.02.17 |
| 申请人 | 株式会社V技术 | 发明人 | 斋藤雄二;工藤修二;小菅崇之;水村通伸 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人 | 权鲜枝 |
| 主权项 | 一种成膜掩模的制造方法，上述成膜掩模是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构，上述成膜掩模的制造方法的特征在于，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上粘接上述掩模片的周缘部；第2步骤，将与上述掩模片的内含上述多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的上述网的部分切除；第3步骤，在上述掩模片的周缘部从与上述网相反的一侧接合、固定上述框架；以及第4步骤，将上述网从上述掩模片除去。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||