用于晶圆制程的液体均压喷洒装置

主权项

一种用于晶圆制程的液体均压喷洒装置，包含：一缓冲槽；一供液管，其与缓冲槽相连接；一供液泵浦，其设于供液管上；一阻尼器，其设于供液管上，供液泵浦位于阻尼器与缓冲槽之间；一分流桶，其底面与供液管相连接；复数喷嘴管，其与分流桶相连接，且各喷嘴管与分流桶的连接处位于相同高度；复数喷嘴，其分别连接该等喷嘴管。