发明名称 半導体装置の製造方法及び電子装置の製造方法
摘要 A method of manufacturing a semiconductor device, includes: providing a first adhesive layer on a support member; providing a film on the first adhesive layer; arranging a semiconductor element on the film; providing a resin layer on the film on which the semiconductor element is arranged, and forming a substrate including the semiconductor element and the resin layer on the film; and separating the film and the substrate from the first adhesive layer.
申请公布号 JP5810957(B2) 申请公布日期 2015.11.11
申请号 JP20120032297 申请日期 2012.02.17
申请人 富士通株式会社 发明人 佐々木 伸也;石月 義克;谷 元昭
分类号 H01L21/56;C09J7/02;H01L23/12 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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