阻尼弹片式刚度频率可调宏微一体化复合平台

摘要

本实用新型提出阻尼弹片式刚度频率可调宏微一体化复合平台，当宏微动子同时驱动时，可实现整体大范围的高速运动；当出现运动偏差时，微动平台由于惯量小、无摩擦、通过弹性变形实现精密位移输出，可以单独驱动实现高频运动偏差补偿。通过复合运动控制，可以实现高速精密运动，安装使用方式与传统平台一致，方便推广应用，同时在弹片上附设阻尼材料，使微动平台具有一定的阻尼，能够传递宏动平台的运动但阻隔振动，使微动平台在共振点也不会产生无穷的振幅，可在任意频带上工作，通过运动偏差测量、微平台动态特性匹配和振动偏差高频精密补偿，实现阻尼弹片式刚度频率可调宏微一体化复合平台在任意频率点上高速高精度运动。

主权项

阻尼弹片式刚度频率可调宏微一体化复合平台，其特征在于：包括基座、宏动外框架和微动平台；所述宏动外框架与所述微动平台形成一体化平台，所述微动平台设置在所述宏动外框架的框架内部，所述微动平台包括用于放置工件的核心平台、用于支撑和位移输出的弹片组和用于抗共振的不可变阻尼，所述核心平台通过所述弹片组连接于所述宏动外框架；所述不可变阻尼设置于用于连接所述核心平台与所述宏动外框架的任意部件上；所述基座上设置有导轨、滑块和U型直线电机，所述滑块可滑动于所述导轨，所述U型直线电机包括定子、宏动外框架动子、微动平台动子和连接件，宏运动和微运动共用同一个所述定子；所述宏动外框架固定安装于所述滑块，并通过所述连接件连接于所述宏动外框架动子，由所述宏动外框架动子、所述微动平台动子和所述定子控制其滑动于所述导轨实现宏运动；所述核心平台通过所述连接件固定于所述微动平台动子，并由所述微动平台动子控制其在所述定子的微运动。