一种用于缩短抽真空时间及高真空获得的低温捕集器

摘要

本实用新型涉及一种用于缩短抽真空时间及高真空获得的低温捕集器，包括一个真空腔体，在真空腔体的左右两端各设置有一个与真空腔体一体化相连的向外伸出的凸腔，其中左侧的凸腔内设置有一个腔内捕集器，在该腔内捕集器上设置有一根与其相邻的冷凝剂循环管道，该冷凝剂循环管道的另一端则与一个设置在真空腔体外的冷凝发生器相连通，在真空腔体内设置有一个半径小于真空腔体的工件转架，在工件转架上则等距排列有工件，在工件转架内侧设置有上下两排呈弧形排列的加热管。缩短抽真空的时间，并获得洁净的真空环境，提高真空镀膜机本底真空度，减少抽气时间，提高真空镀膜产品的良率。

主权项

一种用于缩短抽真空时间及高真空获得的低温捕集器，包括一个真空腔体，在真空腔体的左右两端各设置有一个与真空腔体一体化相连的向外伸出的凸腔，其中左侧的凸腔内设置有一个腔内捕集器，在该腔内捕集器上设置有一根与其相邻的冷凝剂循环管道，该冷凝剂循环管道的另一端则与一个设置在真空腔体外的冷凝发生器相连通，右侧的凸腔内设置有靶材及气管，该靶材及气管与真空腔体中心处的靶材及气管相连通，在真空腔体内设置有一个半径小于真空腔体的工件转架，在工件转架上则等距排列有工件，在工件转架内侧设置有上下两排呈弧形排列的加热管。