发明名称 |
制备铜锡硫或铜锡硫硒薄膜的方法 |
摘要 |
本公开提供了一种制备铜锡硫或铜锡硫硒薄膜的方法,所述方法包括以下步骤:步骤一:清洗衬底,以获得清洁衬底;步骤二:在步骤一所述清洁衬底上以任意顺序通过溶液沉积法连续交替沉积SnS薄膜和Cu薄膜;步骤三:在硫气氛或者硒气氛下,将步骤二得到的含有Sn元素和Cu元素薄膜的叠层进行热处理,得到铜锡硫或铜锡硫硒薄膜。 |
申请公布号 |
CN105047753A |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
申请号 |
CN201510354656.8 |
申请日期 |
2015.06.24 |
申请人 |
中国科学技术大学 |
发明人 |
朱长飞;王亚光;李建民;刘伟丰;江国顺 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L21/477(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
刘宇 |
主权项 |
一种制备铜锡硫或铜锡硫硒薄膜的方法,所述方法包括以下步骤:步骤一:清洗衬底,以获得清洁衬底;步骤二:在步骤一所述清洁衬底上以任意顺序通过溶液沉积法连续交替沉积SnS薄膜和Cu薄膜;步骤三:在硫气氛或者硒气氛下,将步骤二得到的含有Sn元素和Cu元素薄膜的叠层进行热处理,得到铜锡硫或铜锡硫硒薄膜。 |
地址 |
230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号 |