| 发明名称 | MEMS开关 | ||
| 摘要 | 本公开涉及MEMS开关。公布了改进MEMS开关操作性能的几种特征，使得它们呈现出改进的在役寿命和开关打开与关闭的更好控制。 | ||
| 申请公布号 | CN105047484A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510198260.9 | 申请日期 | 2015.04.24 |
| 申请人 | 亚德诺半导体集团 | 发明人 | P·L·菲兹格拉德;J-E·王;R·C·格金;B·P·斯坦森;P·拉姆博肯;M·舍默尔 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 罗银燕 |
| 主权项 | 一种MEMS元件，包括：衬底；支撑体；可移动结构；控制电极；和所述支撑体从所述衬底延伸并保持邻近所述衬底的可移动结构的部分，并且所述可移动结构与所述控制电极重叠，其中，所述可移动结构由边缘限定，并且所述控制电极延伸过所述可移动结构的边缘。 | ||
| 地址 | 百慕大群岛(英)哈密尔顿 | ||