| 发明名称 | 快速热制程设备 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWM512209 | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | TW104212484 | 申请日期 | 2015.08.04 |
| 申请人 | 技鼎股份有限公司 | 发明人 | 林武郎;郑煌玉;郭明伦;方建利;刘又玮;陈世敏;许雅晴 |
| 分类号 | H01L21/324 | 主分类号 | H01L21/324 |
| 代理机构 | 代理人 | 林志青 台北市信义区松隆路102号18楼之1 | |
| 主权项 | 一种快速热制程设备，用以形成一高温气密环境以进行热处理，该快速热制程设备包含： 一气密腔体，具有一气密腔室，供放置一热处理目标物件； 复数个具辐射穿透性之管材，设置于该气密腔室且各个该管材的一端接合于该气密腔体而连通于外部空间，而使该复数个管材之内部与该气密腔室相隔绝；以及 复数个加热元件，对应设置于该复数个管材之内部，透过该管材对该气密腔室加热以使该气密腔室内形成该高温气密环境，以对该热处理目标物件进行热处理。 | ||
| 地址 | 新竹市东区水利路81号5楼之6 | ||