主权项 |
一种使用单遍的雷射束以于一材料上切割多个宽度的沟渠之方法,该种方法包含:于关于该材料的一工作表面之该雷射束的第一切割速度上,使用第一系列的雷射脉冲以切割该工作表面,于第一系列的各个雷射脉冲具有于该工作表面之第一点尺寸;于一转变区域:根据连续地改变切割速度时间轮廓,自该转变区域的一开端之第一切割速度至该转变区域的一末端之第二切割速度的逐渐改变;及随着根据连续地改变该切割速度时间轮廓而逐渐改变该切割速度,使用第二系列的雷射脉冲以切割该工作表面,其中,第二系列的雷射脉冲随着基于每个脉冲之时间函数自该转变区域的开端之第一点尺寸至该转变区域的末端之第二点尺寸依序改变点尺寸;且于该雷射束的第二切割速度,使用第三系列的雷射脉冲以继续切割该工作表面,于第三系列的各个雷射脉冲具有第二点尺寸。
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