图案化基板的方法

主权项

一种图案化一基板的方法，该方法包括：接收一积体电路设计布局数据，包括具有一多边形以及一禁止图形之复数个图案层；利用电子邻近校正技术修改该多边形以及该禁止图形；以及分解已修改之该多边形至多个子域，其中该分解已修改之该多边形之步骤包括：利用已修改之禁止图形作为一参考层；经由沿着一条带边界线观察该禁止图形设定一分解线；移动该分解线远离该条带边界线，若该条带边界线跨越已修改之该禁止图形；经由避免分解该禁止图形，分解已修改之该多边形；转换已分解之该多边形至一电子束写入格式资料；以及藉由一电子束写入机写入该电子束写入格式资料于一基板。