| 主权项 |
一种电力导入装置，其特征为具备有：可保持基板的基板保持具；与前述基板保持具相连结，具有第1导电支柱部、及第2导电支柱部的支柱；以可旋转的方式支持前述支柱，具有第1导电框体部、及第2导电框体部的框体；由前述第1导电框体部对前述第1导电支柱部供给第1电压的第1导电部；由前述第2导电框体部对前述第2导电支柱部供给第2电压，与前述第1导电部呈绝缘的第2导电部；与前述第1导电支柱部相连接，将第1电压供给至前述基板保持具的第1电力导入构件；及与前述第2导电支柱部相连接，将第2电压供给至前述基板保持具的第2电力导入构件，在前述支柱与前述框体的间隙，系形成有：与前述第1导电部相接，可流通冷媒的第1空间、及与前述第2导电部相接，可流通冷媒的第2空间，而且具有将前述第1空间由被施加前述第2电压的构件隔离，将前述第2空间由被施加前述第1电压的构件隔离的隔离手段。 |
