一种带自检测装置的电容式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种带自检测装置的电容式压力传感器，包括硅衬底、下电极、绝缘介质层、真空密封腔、上电极、钝化层、金属引线；在硅衬底上连接有下电极；绝缘介质层位于下电极上方；在绝缘介质层的上方设有真空密封腔；传感器的上电极位于真空密封腔上方；钝化层生长在上电极的上方；金属引线的下部伸入钝化层的电极引出孔，与上下电极接触。该电容式压力传感器利用静电力模拟实际检测中的压力值，能够快速实现压力值的改变，在分析传感器性能时，具有更高效率；同时还提供压力传感器制备方法，简单易行。

主权项

一种带自检测装置的电容式压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括硅衬底（1）、下电极（2）、绝缘介质层（3）、上电极（5）、钝化层（6）、金属引线（7）；下电极（2）与硅衬底（1）的顶面固定连接；绝缘介质层（3）与下电极（2）的顶面固定连接；上电极（5）位于绝缘介质层（3）的上方，且上电极（5）和绝缘介质层（3）之间设有真空密封腔（4）；钝化层（6）生长在上电极（5）上方；金属引线（7）伸入钝化层（6）的电极引出孔中，且金属引线（7）的两端分别与上电极（5）和下电极（2）接触。