| 发明名称 | 一种晶体管的评估方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种晶体管的评估方法，该评估方法包括：将周期为T的第一脉冲信号施加在所述晶体管的第一端；在经过至少n个周期之后，对所述晶体管进行电性能测试，以获得第一参数，其中，n为大于或等于1的正整数；根据对所述晶体管初始参数和所述第一参数进行比较，以评估所述晶体管的可靠性。本发明能够快速的评估晶体管的可靠性，缩短工艺开发周期，实现在量产过程中对每个晶体管晶圆进行可靠性监控。 | ||
| 申请公布号 | CN105047578A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510424012.1 | 申请日期 | 2015.07.17 |
| 申请人 | 北京兆易创新科技股份有限公司 | 发明人 | 何永;冯骏;王者伟 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 胡彬;邓猛烈 |
| 主权项 | 一种晶体管的评估方法，其特征在于，包括：将周期为T的第一脉冲信号施加在所述晶体管的第一端；在经过至少n个周期之后，对所述晶体管进行电性能测试，以获得第一参数，其中，n为大于或等于1的正整数；根据对所述晶体管的初始参数和所述第一参数进行比较，以评估所述晶体管的可靠性。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区学院路30号科大天工大厦A座12层 | ||