主权项 |
一种具有高度光萃取率之基板的制作方法,其包含:提供一滚动件及一板体,该板体设置于该滚动件,该板体具有一上表面、一下表面及复数个通孔,该些通孔连通该上表面及该下表面,各该通孔具有一第一倾斜侧壁;形成复数个光阻凸块于该板体之各该通孔中,各该光阻凸块具有一显露面;以该滚动件带动该板体转动,使各该光阻凸块之该显露面抵触一基板的一表面,并使各该光阻凸块在该板体转动过程中脱离该板体之各该通孔并附着于该基板之该表面上,附着于该基板之该表面上的各该光阻凸块具有一显露的顶端部及一显露的第二倾斜侧壁,该第二倾斜侧壁位于该顶端部与该基板之该表面之间,其中各该光阻凸块的该第二倾斜侧壁是由该通孔的该第一倾斜侧壁所限制成形;以及进行图案化该基板步骤,以该些具有该第二倾斜侧壁的光阻凸块为遮罩并图案化该基板,以使该基板之该表面形成有棋盘状排列的复数个凹槽及被该些凹槽环绕的复数个导光件,其中各该导光件具有一第三倾斜侧壁,各该凹槽具有一第四倾斜侧壁,该第三倾斜侧壁与该第四倾斜侧壁实质上为一相同侧壁,且该第三倾斜侧壁与该第四倾斜侧壁是藉由该些光阻凸块的该第二倾斜侧壁所形成。
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