发明名称 搬送装置及陶瓷构件
摘要
申请公布号 TWI508214 申请公布日期 2015.11.11
申请号 TW102107765 申请日期 2013.03.06
申请人 日本特殊陶业股份有限公司 发明人 三轮要;仓野淳;丹羽伦规
分类号 H01L21/677;H01L21/683;B25J15/06;H02N13/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 丁国隆 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种陶瓷构件,系在搬送装置中保持有被搬送体的状态下构成能与前述被搬送体一起移动,该陶瓷构件具备:多层陶瓷层,系具有绝缘性且经一体烧成;吸附电极,其系在前述多层陶瓷层的内部并形成于前述多层陶瓷层中的第1陶瓷层上,而构成可藉静电力吸附介电体之电极;电热体,系由前述多层陶瓷层中保持前述被搬送体的那侧形成于与前述第1陶瓷层分离的第2陶瓷层上,并基于电力而发热;供电口,系从前述陶瓷构件的外部接收将供予前述吸附电极之电力;接端面,其系形成于前述多层陶瓷层中与前述第1陶瓷层及前述第2陶瓷层不同的第3陶瓷层上,而构成能经由前述供电口接收电力之导体;介层,其系贯通前述多层陶瓷层的至少一层,并将前述吸附电极和前述接端面之间电性连接之导体;对向面,其系沿着前述多层陶瓷层的层面方向之面,且系在保持前述被搬送体的状态下与前述被搬送体对向之面;及基端上面,其系形成于前述对向面的外周侧且面向和前述对向面相同方向,且前述接端面是涵盖前述对向面的正下方与前述 基端上面的正下方,而形成。
地址 日本