基于共振隧穿效应的近红外探测器

摘要

本发明提供一种基于共振隧穿效应的近红外探测器，其主体结构是一个共振隧穿二极管，但将共振隧穿二极管通常采用的双势垒结构变更为三势垒结构，以此抑制探测器的散粒噪声，并在三势垒结构和集电极之间外延生长吸收层。探测器工作时加正向偏压，近红外光从集电极入射，并在吸收层产生光生电子一空穴对，光生空穴在电场作用下向三势垒结构方向漂移，并在双势垒结构和吸收层的界面处堆积，进而改变了三势垒结构两侧的电势，增大了隧穿电流。探测器在室温下具有很高的响应度。

主权项

一种基于共振隧穿效应的近红外探测器，探测器的主体结构为共振隧穿二极管，其特征在于：共振隧穿二极管具有三势垒结构，沿外延生长方向依次设计为衬底、电极、发射极、隔离层、势垒层、量子阱、势垒层、量子阱、势垒层、吸收层、集电极和电极。