| 发明名称 | DLC被覆膜及被覆气门挺杆 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可以同时确保CVD(化学气相生长)成膜方法的成膜速度和溅射成膜方法的耐久性的DLC(类金刚石碳)被覆膜及被覆气门挺杆。DLC被覆膜由沉积形成于基材表面的中间层(3)、沉积形成于该中间层(3)上的DLC层(4)构成，通过能够进行表面硬化的金属碳化物或金属来形成所述中间层(3)，且在混入烃气的非活性气体导入下，通过添加与所述中间层(3)共同的金属元素来形成所述DLC层(4)，由此，可对中间层(3)和DLC层(4)进行连续的采用溅射处理的成膜，另外，可进行Me-DLC(金属添加DLC)的DLC层(4)的H(氢)含量调节。 | ||
| 申请公布号 | CN105051249A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201380074991.1 | 申请日期 | 2013.03.22 |
| 申请人 | 日锻汽门株式会社 | 发明人 | 久保田行雄;石井真一 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李英 |
| 主权项 | 一种DLC被覆膜，其特征在于，包含沉积形成于基材表面的中间层、和沉积形成于该中间层上的DLC(类金刚石碳)层，通过能够进行表面硬化的金属碳化物或金属来形成所述中间层，且在混入烃气的非活性气体导入下，通过添加与所述中间层共同的金属元素，形成所述DLC层而成。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||