一种硅片清洗筐

摘要

本实用新型创造提供一种硅片清洗筐，包括清洗筐、片篮、转动轴、轴承、齿轮、齿条和重力传动坠，所述片篮置于清洗筐底部，所述转动轴、轴承和齿轮由内向外依次套装，所述转动轴固定在清洗筐内片篮所在位置的底部，所述齿条与齿轮啮合，所述齿条下端与重力传动坠连接，所述转动轴与排放在片篮内的硅片相接触。本实用新型创造具有的优点和积极效果是：能够使硅片各个位置都均匀接收超声作用，防止出现清洗死角或片篮印，有效改善硅片表面的清洗效果，提高硅片表面质量，进一步提高了产品的市场竞争力。

主权项

一种硅片清洗筐，包括清洗筐和片篮，所述片篮置于清洗筐底部，所述片篮内排放有硅片，其特征在于：还包括转动轴、轴承、齿轮、齿条和重力传动坠，所述转动轴、轴承和齿轮由内向外依次套装，所述转动轴固定在清洗筐内片篮所在位置的底部，所述齿条与齿轮啮合，所述齿条下端与重力传动坠连接，所述转动轴与排放在片篮内的硅片相接触。