主权项 |
一种用于加热CVD反应器(1)的基座(4)之加热装置,具有至少一个加热元件(9、19),其中,该加热元件(9、19)的区段或者不同的加热元件(9、19)并排延伸并且藉由支撑件(10、20)相对于支撑板而定位,其中,该支撑件(10、20)分别具有形状接合地且牢固地插入一支撑板(29)的固定开口内的支脚和与横向于该支撑板(29)的延伸面延伸的柄部(14、24)相连接的头部,该加热元件(9、19)固定在该头部上,其特征在于:该支脚藉由形状接合固定件固定在该支撑板(29)的固定开口内,该形状接合固定件将该支撑件(10、20)沿该柄部(14、24)的延伸方向束缚在该支撑板(29)上。
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