背照式ＣＭＯＳ影像感测器及其形成方法

主权项

一种背照式CMOS影像感测器，包含：一基材，包含一光二极体阵列；一保护层设于该光二极体阵列上；一彩色滤光片阵列，包含多个彩色滤光片形成于该保护层上，其中每一彩色滤光片对应于该光二极体阵列中的一光二极体；一第一格栅形成于该保护层上并填充至该些彩色滤光片之间的空隙中，其中该第一格栅之折射率小于约1.46及该彩色滤光片之折射率，且其中该第一格栅包含一第一部分及一第二部分，该第一部分围绕该彩色滤光片阵列之侧壁，该第二部分自该第一部分延伸并包含多个微透镜单元对齐于彩色滤光片阵列；以及一金属格栅对齐于该些位于彩色滤光片之间的之该第一格栅，其中该金属格栅之消光系数大于0。