氧化铟－氧化锌-氧化镁系溅镀靶及透明导电膜,申请号TW102106926-传众专利搜索

发明名称	氧化铟－氧化锌-氧化镁系溅镀靶及透明导电膜
摘要
申请公布号	TWI507575	申请公布日期	2015.11.11
申请号	TW102106926	申请日期	2005.03.24
申请人	出光兴产股份有限公司	发明人	井上一吉;松原雅人;笘井重和;岛根幸朗
分类号	C30B29/16;C23C14/08	主分类号	C30B29/16
代理机构		代理人	林志刚台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项	一种溅镀靶，其特征为含有氧化铟、氧化锌与氧化镁，其中[In]/([In]+[Zn]+[Mg])=0.74~0.94，[Zn]/([In]+[Zn]+[Mg])=0.05~0.25，[Mg]/([In]+[Zn]+[Mg])=0.01~0.20，[In]表示每单位体积之铟原子数目，[Zn]表示每单位体积之锌原子数目，[Mg]表示每单位体积之镁原子数目者。
地址	日本