一种GaAs系太阳能电池三层减反膜

摘要

本实用新型公开了一种GaAs系太阳能电池三层减反膜，由从下往上依次层状叠加的第一层二氧化钛薄膜、第二层二氧化钛薄膜及一层二氧化硅薄膜组成，其中，在GaAs系太阳能电池的窗口层或顶电池材料上通过电子束蒸镀沉积出第一层二氧化钛薄膜，在所述第一层二氧化钛薄膜上采用离子源辅助电子束蒸镀沉积出第二层二氧化钛薄膜，在所述第二层二氧化钛薄膜上采用离子源辅助电子束蒸镀沉积出一层二氧化硅薄膜，形成表面减反结构。本实用新型可以提升太阳能电池光电转换效率，保证良好的电池片外观，提高太阳能电池片的电性良率，同时减缓了蒸镀机台衬板的更换频率。

主权项

一种GaAs系太阳能电池三层减反膜，其特征在于：由从下往上依次层状叠加的第一层二氧化钛薄膜、第二层二氧化钛薄膜及一层二氧化硅薄膜组成，其中，在GaAs系太阳能电池的窗口层或顶电池材料上通过电子束蒸镀沉积出第一层二氧化钛薄膜，在所述第一层二氧化钛薄膜上采用离子源辅助电子束蒸镀沉积出第二层二氧化钛薄膜，在所述第二层二氧化钛薄膜上采用离子源辅助电子束蒸镀沉积出一层二氧化硅薄膜，形成表面减反结构。