发明名称 |
一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道 |
摘要 |
本实用新型涉及一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道,包括炉内缩放管和炉外缩放管,炉内缩放管包括气体进入段、收缩段和气体排出段,气体进入段为呈喇叭状扩口,收缩段和气体排出段均为直通管,收缩段的直通管管径小于气体排出段的直通管管径,炉外缩放管与气体排出段相连,炉外缩放管为管体外径等径的通管,炉外缩放管的管体内壁面设有凸缘和凹缘。本发明创造可加快氩气及炉内挥发物的混合气体排出炉内的速度,缩短挥发物在炉内及管道口的停留时间,减少挥发物在炉膛排气管口的聚集与沉积;可使管内气体由层流变为湍流,提高管道内挥发物温度,有利于降低挥发物在管道内的沉积,可有效改善排气效率、降低由排气管道堵塞引起的熔体液面抖动的概率,进而改善成晶。 |
申请公布号 |
CN204752905U |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
申请号 |
CN201520385238.0 |
申请日期 |
2015.06.04 |
申请人 |
天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
发明人 |
娄中士;王林;李亚哲;郑海峰;张颂越;孙毅 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 |
代理人 |
李莉华 |
主权项 |
一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道,其特征在于:包括炉内缩放管和炉外缩放管,所述炉内缩放管包括依次连接的气体进入段、收缩段和气体排出段,所述气体进入段为呈喇叭状的扩口,所述收缩段和所述气体排出段均为直通管,且所述收缩段的直通管管径小于所述气体排出段的直通管管径,所述炉外缩放管与所述气体排出段相连,所述炉外缩放管为管体外径等径的通管,所述炉外缩放管的管体内壁面设有数个凸缘和凹缘,各凸缘和凹缘交替连接而形成波浪状起伏。 |
地址 |
300384 天津市滨海新区高新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号 |