| 发明名称 | 电传输馈入结构及具有其的PECVD设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种电传输馈入结构及具有其的PECVD设备，电传输馈入结构包括：两个屏蔽层；两个绝缘介质层，设置在两个屏蔽层之间；导电层，设置在两个绝缘介质层之间；导电层包括输入端和输出端，输出端包括多个连接点。通过本发明提供的技术方案能够解决现有技术中薄膜不均匀的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN105039936A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510451915.9 | 申请日期 | 2015.07.28 |
| 申请人 | 北京精诚铂阳光电设备有限公司;福建铂阳精工设备有限公司 | 发明人 | 杨娜;曲铭浩;庄春泉;张津燕;徐希翔;胡安红;张迎春 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 赵囡囡;吴贵明 |
| 主权项 | 一种电传输馈入结构，所述电传输馈入结构包括：两个屏蔽层(10)；两个绝缘介质层(20)，设置在所述两个屏蔽层(10)之间；导电层(30)，设置在所述两个绝缘介质层(20)之间；其特征在于，所述导电层(30)包括输入端(31)和输出端(32)，所述输出端(32)包括多个连接点(321)。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区锦绣街7号 | ||