发明名称 超声波清洗装置
摘要 一种超声波清洗装置,包括超声波发生仪和载台,其中,所述载台包括彼此相对的第一面和第二面,所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔;所述载台的第一面用于放置待清洗件,所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。采用本发明的超声波清洗装置,可有效清洗玻璃基板或其他待清洗件背面的杂质。
申请公布号 CN105032835A 申请公布日期 2015.11.11
申请号 CN201510511126.X 申请日期 2015.08.19
申请人 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 发明人 杨端;王彪;左长云;邓光鹤;高立松;孙强;赵磊
分类号 B08B3/12(2006.01)I 主分类号 B08B3/12(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 彭久云
主权项 一种超声波清洗装置,包括超声波发生仪和载台,其中,所述载台包括彼此相对的第一面和第二面,所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔;所述载台的第一面用于放置待清洗件,所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号