发明名称 |
超声波清洗装置 |
摘要 |
一种超声波清洗装置,包括超声波发生仪和载台,其中,所述载台包括彼此相对的第一面和第二面,所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔;所述载台的第一面用于放置待清洗件,所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。采用本发明的超声波清洗装置,可有效清洗玻璃基板或其他待清洗件背面的杂质。 |
申请公布号 |
CN105032835A |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
申请号 |
CN201510511126.X |
申请日期 |
2015.08.19 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
杨端;王彪;左长云;邓光鹤;高立松;孙强;赵磊 |
分类号 |
B08B3/12(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
彭久云 |
主权项 |
一种超声波清洗装置,包括超声波发生仪和载台,其中,所述载台包括彼此相对的第一面和第二面,所述第一面与所述第二面之间设置有贯穿所述载台的多个通孔;所述载台的第一面用于放置待清洗件,所述超声波发生仪设置在所述载台的所述第二面一侧。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |