| 摘要 |
본 발명은 다결정 실리콘 증착을 위한 반응기에서 전극 시일을 보호하기 위한 장치로서, 시일링 부재(2)가 전극의 전극 홀더(1)와 반응기의 베이스 플레이트(3) 사이의 공간에 배열되고, 상기 전극 홀더(1) 및 시일링 부재(2)를 방사상으로 둘러싸고 베이스 플레이트를 터치하는 보호 링(4)이 제공되거나, 또는 전극 홀더(1) 및 시일링 부재(2)를 방사상으로 둘러싸고 전극 홀더(1)를 터치하는 커버(6)가 제공되며, 단, 상기 보호 링(4) 이외에 전극 홀더(1) 및 시일링 부재(2)를 방사상으로 둘러싸거나 또는 전극 홀더를 터치하는 추가의 보호 부재가 존재하지 않는 경우, 상기 한 피스 또는 복수 피스의 보호 링(4)이 전극 홀더(1)를 측부에서 터치하고 실온에서 10Ωcm 초과의 특정 전기 비저항을 가지며, 동시에 실온에서 10W/mK 초과의 특정 열 전도도를 갖는 전기 절연 재료로 구성되는 것인 장치를 제공한다. |
