低温泵及其再生方法

主权项

一种低温泵，其特征为，具备：低温板；低温泵容器，容纳前述低温板；及控制部，构成为了前述低温板的再生而控制前述低温泵容器的排气和向前述低温泵容器的冲洗气体的供给，前述控制部执行以下制程：第1排出制程，包括在第1压力范围内交替进行前述低温泵容器的排气和前述冲洗气体的供给；及第2排出制程，包括对前述低温泵容器进行排气直至低于前述第1压力范围之低压区域，前述第2排出制程包括以下步骤：在前述低压区域至少判定一次是否结束前述第2排出制程；及在首次判定是否结束前述第2排出制程之前，向前述低温泵容器供给冲洗气体。