单块铝合金靶和制造方法

主权项

一种制造具有溅镀区域和凸缘区域的单块Al或Al合金靶的方法，该方法包括以下步骤：(a)机械加工Al工件以制出毛胚；(b)在再结晶温度下，将该毛胚加以退火以再结晶该毛胚；(c)在比该再结晶温度还低的温度下进行该退火之后，产生10~50%的额外应变以增加机械强度；(d)在比该再结晶温度还低的温度下以及该退火之后，进一步产生20~60%的应变于该凸缘区域；以及(e)完工处理该毛胚以形成具有合意结晶纹理和适当机械强度的溅镀靶，其中该溅镀区域具有至少大约平均30%的晶向。