一种具有光路传输结构的准分子激光装置

摘要

本实用新型公开了一种具有光路传输结构的准分子激光装置，包括种子腔、放大腔以及光路传输结构，种子腔用于输出种子激光，放大腔用于放大所述种子激光的能量，光路传输结构用于引导激光的传输，其中，光路传输结构包括第一三角棱镜、第二三角棱镜及第三三角棱镜。本实用新型通过采用特殊角度三角棱镜、及对三角棱镜采取特殊的摆放方式，实现P光和S光相位差互相补偿，使光路传输结构不会产生附加的相位差，达到最终输出的激光偏振态与从放电腔输出的种子激光偏振态一致、保持激光偏振态稳定的目的。

主权项

一种具有光路传输结构的准分子激光装置，其特征在于，包括种子腔、放大腔以及光路传输结构，其中：所述种子腔用于输出种子激光；所述放大腔垂直位于所述种子腔之下，用于放大所述种子激光的能量；所述光路传输结构用于引导激光的传输，其中，所述光路传输结构至少包括第一三角棱镜、第二三角棱镜及第三三角棱镜：该第一三角棱镜和该第二三角棱镜用于引导所述种子腔输出的种子激光，使该种子激光经过所述放大腔；该第三三角棱镜用于将所述放大腔输出的激光再次传输到所述放大腔内进行二次放大；所述第一三角棱镜垂直摆放，使所述第一三角棱镜中入射光和出射光所构成的平面垂直于水平面；所述第二三角棱镜垂直摆放，使所述第二三角棱镜中入射光和出射光所构成的平面垂直于水平面；所述第三三角棱镜水平摆放，使所述第三三角棱镜中入射光和出射光所构成的平面平行于水平面。