移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法

摘要

本发明涉及移动元件仅受静电力驱动的静电平行板致动器以及相结合使用的方法，该致动器包括：至少一个致动器装置，每一个致动器装置包括：一个移动元件阵列，其中每一单独的移动元件操作而受约束以响应于作用其上的一个单独的第一静电力而沿着一条对应轴线来回交替地行进，其中每一个移动元件具有一个静止位置并且仅被该第一静电力驱动远离其静止位置；以及至少一个电极，该至少一个电极操作以对来自该移动元件阵列当中的至少一个单独的移动元件施加一个受控的电位差时间序列，从而可选择地产生该第一静电力；以及一个控制器，该控制器操作以接收该数字输入信号，并且控制该至少一个电极和该单独的移动元件中的至少一者以施加该电位差序列。

主权项

一种静电平行板致动器设备，包括：致动器阵列，所述致动器阵列包括多个双侧致动器元件(110)，所述多个双侧致动器元件(110)以行和列的形式进行安排，所述双侧致动器元件包括：移动元件(120)，所述移动元件(120)借助于支承件(150)机械地连接到致动器元件的固定部分，所述支承件(150)界定轴线(125)，所述移动元件(120)能够沿着所述轴线(125)行进，所述支承件(150)防止所述移动元件(120)在其他方向行进并且界定所述移动元件(120)的静止位置；一对电极(130、140)，所述一对电极(130、140)被安置在所述移动元件(120)的相对侧，使得在所述移动元件和任何一个电极之间施加电压能够产生驱动所述移动元件朝向对应的电极的静电力；电连接，所述电连接在所述双侧致动器元件之间，使得：所述移动元件(120)沿着所述阵列的行或列中的一者被电连接；第一组电极(130)沿着所述阵列的行或列中的另一者的第一组(410)被电连接；以及第二组电极(140)沿着所述阵列的行或列中的另一者的第二组(420)被电连接；控制器(50)，其操作以接收数字输入信号，并且在操作上连接于所述致动器阵列，使得电压能够被施加在任何所选择的行和列之间，从而能够控制所述致动器阵列内的所述致动器元件，以用于产生声音，所述声音的至少一个属性对应于根据取样时钟周期性地取样的所述数字输入信号的至少一个特性。