| 发明名称 |
聚合物组成物及包含该聚合物之光阻剂 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI507428 |
申请公布日期 |
2015.11.11 |
| 申请号 |
TW101118475 |
申请日期 |
2012.05.24 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 |
发明人 |
波寇普兹 古葛利Ｐ;波乐斯 葛哈德;李铭启;吴昌毅;刘琮;徐承柏 |
| 分类号 |
C08F220/28;C08F220/32;C08F220/18;G03F7/004 |
主分类号 |
C08F220/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种共聚物，系包含式(I)之硷可溶性单体以及可与该式(I)之硷可溶性单体共聚合的额外单体的聚合产物，
其中：Ra系H、F、C1-10烷基或C1-10氟烷基；L1系m价态之C2-30伸烷基、C3-30伸环烷基、C6-30伸芳基或C7-30伸芳烷基；m+1系整数2至5；各X1系或其中，Rb系C1-20烷基、C1-20氟烷基、C3-20环烷基、C6-20芳基、C7-20芳烷基、或包含前述之至少一者的组合；其中，该额外单体系具有酸可去保护之硷可溶性基的(甲基)丙烯酸酯单体、具有内酯官能基之(甲基)丙烯酸酯单体、与式(I)不同之具有硷可溶性基的(甲基)丙烯酸酯单体、或包含前述单体之至少一者的组合。 |
| 地址 |
美国 |
