电弧型蒸发源及使用它的被膜的制造方法

主权项

一种电弧型蒸发源，是藉由电弧放电进行蒸发靶材的表面的电弧型蒸发源，其特征为：具备：设置成包围上述靶材的外周，以其磁化方向沿着与上述靶材的表面正交的方向的方式配置的至少一个外周磁铁，及配置于上述靶材的背面侧的背面磁铁，上述背面磁铁是包含以上述背面磁铁的极性与上述外周磁铁的极性朝着相同方向，且上述背面磁铁的磁化方向沿着与上述靶材的表面正交的方向的方式配置的非环状的第1永久磁铁，上述背面磁铁是又包含设于上述第1永久磁铁与上述靶材之间，或是上述第1永久磁铁的背面侧，而且与上述第1永久磁铁隔着间隔所配置的非环状的第2永久磁铁，上述第2永久磁铁是配置成上述第2永久磁铁的极性与上述外周磁铁的极性朝着相同方向，且上述第2永久磁铁的磁化方向沿着与上述靶材的表面正交的方向。