一种新型全自动超声波清洗机

摘要

本实用新型提供了一种新型全自动超声波清洗机，属于硅片清洗技术领域。本新型全自动超声波清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮，机架上设有若干个呈一条直线排列的清洗槽，清洗槽可容纳吊篮放入其中，清洗槽底部设有超声波发声板，清洗槽内侧部设有电加热器，机架上具有与清洗槽排列方向平行的直线滑轨和沿着直线滑轨的滑座，滑座上固定有电机和气缸，机架上还设有与直线滑轨平行的齿条，电机的输出轴上套有与齿条啮合的齿轮，滑座下方通过导柱连接有升降板，升降板与气缸的推杆连接，升降板的两侧固定有若干组挂钩，吊篮两侧具有凸出的支撑柱，清洗槽内壁设有振动器。本实用新型为全自动清洗，不但清洗效果好，而且运行安全可靠，使用寿命长。

主权项

一种新型全自动超声波清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮(1)，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的清洗槽(2)，所述清洗槽(2)可容纳吊篮(1)放入其中，所述清洗槽(2)底部设有超声波发声板(3)，所述清洗槽(2)内侧部设有电加热器(4)，其特征在于，机架上具有与清洗槽(2)排列方向平行的直线滑轨(5)和沿着直线滑轨(5)的滑座(6)，滑座(6)上固定有电机(7)和气缸(8)，机架上还设有与直线滑轨(5)平行的齿条(9)，电机(7)的输出轴上套有与齿条(9)啮合的齿轮(10)，滑座(6)下方通过导柱(11)连接有升降板(12)升降板(12)与气缸(8)的推杆连接，升降板(12)的两侧固定有若干组挂钩(13)，吊篮(1)两侧具有凸出的支撑柱(14)，所述清洗槽(2)内壁设有振动器(15)，所述振动器(15)可与吊篮(1)边框接触。