方型蒸发仓

摘要

本实用新型涉及制造技术领域。方型蒸发仓，包括一蒸发仓主体，蒸发仓主体的外壁呈第一长方体，蒸发仓主体包括一放置有基片的中空腔体，中空腔体呈第二长方体，第一长方体的中心线与第二长方体的中心线重合；蒸发仓主体包括加热源，加热源位于中空腔体的下方；加热源设有至少三个，相邻加热源的间距一致；中空腔体的上端部嵌设有至少两个温度传感器，温度传感器的个数等于加热源的个数，每个加热源的正上方均设有一个温度传感器。本实用新型通过将传统的圆柱型蒸发仓改良为方型，通过方型结构，便于在蒸发仓主体内容置更多的基片，此外，本实用新型通过设置有多个加热源，每个加热源的排布间距一致，便于对基片的镀膜均匀性进行保证。

主权项

方型蒸发仓，包括一蒸发仓主体，其特征在于，所述蒸发仓主体的外壁呈第一长方体，所述蒸发仓主体包括一放置有基片的中空腔体，所述中空腔体呈第二长方体，所述第一长方体的中心线与所述第二长方体的中心线重合；所述蒸发仓主体包括加热源，所述加热源位于所述中空腔体的下方；所述加热源设有至少三个，相邻所述加热源的间距一致；所述中空腔体的上端部嵌设有至少两个温度传感器，所述温度传感器的检测方向朝下，且所述温度传感器的检测面低于所述中空腔体的上端面，所述温度传感器的个数等于所述加热源的个数，每个所述加热源的正上方均设有一个所述温度传感器。