大口径光学元件表面损伤检测装置和方法

摘要

一种大口径光学元件表面损伤检测的装置和方法，该装置包括：照明光源、大口径光学元件座、成像透镜、二维振镜、CCD相机和计算机，本发明利用振镜扫描方式检测光学元件表面损伤的方法无需空间上移动待测元件即可实现对光学元件不同位置的扫描，节省大量空间，使检测系统结构简单，易于集成。基于振镜扫描方式的大口径元件损伤检测装置和方法可以实现对大口径元件不同位置损伤图像的扫描式采集，并进行拼接得到完整的大口径元件的损伤图像，该方法对CCD的分辨率要求较低，拼接方式简单，可快速准确地完成大口径元件损伤的检测。

主权项

一种大口径光学元件表面损伤检测装置，其特征在于包括：照明光源(1)、大口径光学元件座(2)、成像透镜(3)、二维振镜(4)、CCD相机(5)和计算机(6)，上述部件的位置关系如下：沿所述的照明光源(1)输出光束方向依次是所述的大口径光学元件座(2)、成像透镜(3)和二维振镜(4)，在所述的二维振镜(4)的反射光的光轴上是所述的CCD相机(5)，所述的大口径光学元件座(2)上的光学元件待检测面与所述的CCD相机(5)分别位于所述的成像透镜(3)的物平面和像平面，所述的CCD相机(5)的输出端与所述的计算机(6)的输入端相连。