| 发明名称 | 研磨用组合物 | ||
| 摘要 | 提供一种研磨用组合物，在使用具有研磨垫的研磨装置研磨由硬脆材料形成的研磨对象物时，可以在150g/cm<sup>2</sup>以上的高研磨载荷(研磨压力)条件下以高研磨速度研磨由维氏硬度超过1500HV的硬脆材料形成的研磨对象物、且可以抑制该研磨对象物表面的损伤等缺陷的产生、研磨垫或保持夹具等的损伤的产生。一种研磨用组合物，其用于使用具有研磨垫的研磨装置以150g/cm<sup>2</sup>以上的研磨载荷研磨由维氏硬度超过1500HV的硬脆材料形成的研磨对象物的用途，所述研磨用组合物包含磨粒，和水，和吸附于前述研磨垫表面、降低前述研磨垫与前述研磨对象物之间不必要的摩擦阻力的添加剂。 | ||
| 申请公布号 | CN105038698A | 申请公布日期 | 2015.11.11 |
| 申请号 | CN201510176810.7 | 申请日期 | 2015.04.14 |
| 申请人 | 福吉米株式会社 | 发明人 | 芹川雅之;诸江泰宏;水谷俊美;中岛丽子 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;B24B37/04(2012.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，其用于使用具有研磨垫的研磨装置以150g/cm<sup>2</sup>以上的研磨载荷研磨由维氏硬度超过1500HV的硬脆材料形成的研磨对象物的用途，所述研磨用组合物包含磨粒，和水，和吸附于所述研磨垫表面、降低所述研磨垫与所述研磨对象物之间不必要的摩擦阻力的添加剂。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||