基板处理装置及基板处理方法

主权项

一种基板处理装置，其特征系，具备有：支撑部，于平面内支撑基板；旋转机构，将与由前述支撑部所支撑之前述基板的表面相交的轴作为旋转轴，使前述支撑部旋转；复数根喷嘴，以从由前述支撑部所支撑之前述基板的中心朝向周缘排列的方式予以设置，且对由前述旋转机构所旋转之前述支撑部上之基板的表面分别吐出处理液；及控制部，因应被形成于由前述旋转机构所旋转之前述支撑部上之基板的表面之前述处理液之液膜的厚度，分别以不同的吐出时序使前述处理液吐出至前述复数根喷嘴。