一种显示装置、阵列基板及其制作方法

摘要

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种显示装置、阵列基板及其制作方法。该阵列基板包括：基板，所述基板上依次设有薄膜晶体管、钝化层和透明电极层，所述树钝化层上形成凹槽，所述透明电极层设置于凹槽内。本发明提供的显示装置、阵列基板及其制作方法，制作工艺简单，采用具有凹槽的钝化层，利用光刻胶进行灰化工艺形成透明电极层，从而省略制备透明电极的掩模板，可最大程度降低制造成本。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在基板上形成包括薄膜晶体管和钝化层的图形，所述钝化层上形成凹槽；在凹槽内形成透明电极的图形，所述透明电极层为像素电极，所述凹槽内的所述像素电极形成与所述凹槽形状相似的凹陷，所述在凹槽内形成透明电极的图形，具体包括：在形成凹槽的基板上形成透明导电层；在完成上述步骤的基板上涂覆光刻胶；依据钝化层上具有的凹槽，形成在凹槽部分的光刻胶和凹槽以外的光刻胶的厚度差，对光刻胶进行灰化处理，保留凹槽区域的光刻胶，去除凹槽以外其他区域的光刻胶以暴露出透明导电层；采用刻蚀工艺将暴露出的透明导电层去除，剥离所述凹槽部分的的光刻胶，形成透明电极的图形。