基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置

摘要

基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置属于尺寸测量技术领域；激光光束通过光纤出射后经透镜聚焦，由光电探测器探测聚焦光斑的位置，当探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致出射光在光电探测器上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感；所述装置由激光器、光纤、夹持器、透镜、光电探测器和探针装配构成；本发明的特点是：探针制作方便且满足微型化需求、探测光的强度高且易于探测、具备三维探测能力、分辨力高、整体装置简单且尺寸较小。

主权项

一种基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法，其特征在于：激光光束通过光纤出射后经透镜聚焦，由光电探测器探测聚焦光斑的位置，当探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致出射光在光电探测器上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感。